2QB 310-SAA11單相漩渦風機在半導體設(shè)備的用途

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2QB 310-SAA11單相漩渦風機在半導體設(shè)備的用途

2QB 310-SAA11單相漩渦風機憑借無油潔凈、低噪高風壓、輕量化免維護的特性，是半導體設(shè)備中適配性很強的氣源配套部件，主要用途如下：

一、主要適配特性支撐半導體場景需求
1、無油純凈氣源?：無油運轉(zhuǎn)輸出完全潔凈的氣流，不會對晶圓、精密元器件造成油霧污染，符合半導體生產(chǎn)的潔凈要求。
2、吹吸雙模式?：同時支持正壓吹風、負壓吸氣兩種功能，可覆蓋半導體多工序的不同氣源需求。
3、低噪輕量化?：整機重量14kg，運行噪音低，適配半導體車間近距離精密作業(yè)場景。
4、高可靠性?：20000小時免維護，可在寬溫環(huán)境下穩(wěn)定運行，減少產(chǎn)線非計劃停機。
二、半導體設(shè)備中的具體用途
1、晶圓表面除塵?：輸出高壓潔凈氣流，準確吹掃晶圓表面的微顆粒雜質(zhì)，避免光刻、刻蝕工序出現(xiàn)良率損失。
2、真空吸附固定?：利用負壓模式，為半導體傳輸機械手、載具平臺提供穩(wěn)定吸附力，準確固定薄型晶圓、PCB載板，避免搬運過程中刮傷。
3、工序后吹干脫水?：在晶圓清洗、蝕刻后的水洗工序后，提供干燥潔凈氣流快速吹干工件表面殘留水漬，防止水漬殘留引發(fā)的電路氧化。
4、設(shè)備局部散熱?：為半導體貼片機、探針臺的精密溫控模塊提供定向風冷散熱，保障主要部件運行溫度穩(wěn)定。
5、微負壓廢氣收集?：在涂膠、顯影等產(chǎn)生微量有機廢氣的工位，通過低負壓抽吸收集局部廢氣，避免有害氣體擴散污染潔凈車間。

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